Descripción
En soluciones de cámara
Baja vibración y mantenimiento cero
Si necesita un rendimiento constante y confiable sin mantenimiento, nuestra gama de bombas turbomoleculares Maglev STP establece el estándar. El rotor está totalmente suspendido por cojinetes magnéticos, perfecto para aplicaciones que requieren alto tiempo de funcionamiento, bombeo sin hidrocarburos, mantenimiento mínimo y baja vibración.
Serie avanzada de alto rendimiento
La serie Advanced ofrece altos niveles de rendimiento, perfecto para sus procesos de grabado de semiconductores y CVD:
- Huella compacta
- Velocidades de rendimiento de 300 l / sa 4500 l / s
- Rendimiento de hasta 6 slm y mayores rendimientos de H2, N2 y Ar.
Controlador y fuente de alimentación totalmente integrados
Esta solución de bomba turbo todo en uno elimina el cable de conexión y el bastidor que se requieren convencionalmente:
- Tamaño reducido, ahorrando valiosos bienes raíces fabulosos, tiempo de instalación y costo
- La fuente de alimentación a bordo reduce el consumo de energía hasta en un 32% a altos flujos de gas
- Operando con velocidades de rendimiento de 300 l / sa 4500 l / s.
Ultra alto vacío
La serie Ultra High Vacuum ofrece confiabilidad sin igual, rendimiento, limpieza y niveles de vibración bajos líderes en su clase.
- La alimentación DC elimina la necesidad de baterías
- El controlador de medio bastidor cuenta con autoajuste y funciones de diagnóstico avanzadas
- Velocidades de 300 l / sa 1000 l / sy <10-10 mbar de presión máxima CF brida
- También está disponible la versión “C” para procesos difíciles.
Serie de vibración ultra alta al vacío
La versión de Ultra High Vacuum Low Vibration incorpora todas las características de la serie Ultra High Vacuum, además de un aislador de vibración incorporado para ofrecerle un rendimiento de vibración ultra bajo.
