Descripción

GETec

AFSEM Insert AFSEM ™ es un microscopio de fuerza atómica (AFM) de GETec Microscopy, diseñado para integrarse en un microscopio SEM o Dualbeam (SEM / FIB). Su diseño de acceso abierto le permite operar simultáneamente SEM y AFM dentro de la cámara de vacío SEM. Los datos de imagen complementarios de AFM y SEM permiten la caracterización única de su muestra. La combinación de técnicas complementarias es un factor clave de éxito para obtener nuevos conocimientos sobre los mundos micro y nano. AFSEM le permite combinar fácilmente dos de las técnicas de análisis más poderosas para ampliar enormemente sus posibilidades de análisis y microscopía correlativa.

Análisis de AFM in situ en su SEM

Las capacidades complementarias de AFM y SEM permiten posibilidades de caracterización únicas de sus muestras. AFSEM le permite obtener imágenes de su muestra simultáneamente con alta resolución, crear verdaderas representaciones de topografía 3D y medir con precisión las alturas, distancias e incluso las propiedades del material, al mismo tiempo que mantiene el gran campo de visión SEM para colocar su voladizo AFSEM exactamente donde lo desee. El flujo de trabajo optimizado de AFSEM (prácticamente sin reducción del tiempo de actividad de SEM) garantiza la mayor efectividad posible, mientras que el potente software de control permite la medición intuitiva, el manejo del sistema y el análisis de datos optimizados e intuitivos.

Análisis correlativo de SEM-AFM

Para el análisis de productos o materiales, a menudo es conveniente analizar una muestra con múltiples técnicas y buscar correlaciones entre parámetros. Para técnicas de imagen como SEM y AFM, esto significa que uno debe asegurarse de analizar exactamente la misma área. ¿Qué manera más fácil para el análisis correlativo de SEM-AFM que realizar la medición de AFM directamente dentro de SEM?

Compatible con la mayoría de los SEM sin impedir el funcionamiento normal

AFSEM se adapta a la mayoría de los sistemas SEM o de doble haz (SEM / FIB): se monta directamente en la puerta de la cámara del sistema, sin alterar el escenario. Además, un diseño delgado de escaneo de punta en combinación con voladizos autosensibles requiere solo 4.5 mm de espacio entre la zapata de polos de la columna de electrones y la muestra. Como resultado, AFSEM es compatible con una amplia gama de etapas estándar y opcionales, y puede manejar virtualmente cualquier muestra que se ajuste a la cámara del sistema. Este diseño elegante permite la detección de alturas de subnanómetro en el SEM.

Numerosas técnicas de análisis en paralelo a AFM y SEM.

Debido a que el diseño de AFSEM mantiene la funcionalidad SEM completa, funciona en combinación con otras técnicas de análisis SEM estándar como FIB, FEBID y EDX. Además, como la muestra no se escanea, las etapas relativamente pesadas o especializadas, por ejemplo, para estiramiento de tracción o nano-indentación, se pueden combinar fácilmente con AFSEM. También desde el lado del AFM, hay múltiples modos disponibles a través de cantilevers autodetectores específicos, por ejemplo, imágenes estáticas y dinámicas, contraste de fase, espectroscopia de fuerza, modulación de fuerza y ​​AFM conductivo.

Manipulación intuitiva con tecnología de cantilever auto-sensorial.

AFSEM ofrece la máxima flexibilidad y posicionamiento intuitivo. La etapa gruesa de 3 ejes mueve el voladizo dentro o fuera del campo de visión del SEM y coloca el voladizo en un área de interés. La etapa SEM mueve la muestra lateralmente tanto para AFSEM como para SEM. Verticalmente, el AFM y la muestra se mueven juntos, lo que le permite mover con seguridad la muestra hacia arriba y hacia abajo sin estrellar el voladizo del AFM.

Componentes y accesorios AFSEM:

• Cabezal de escaneo AFSEM
• Kit de herramientas AFSEM (incluye una selección de cantilevers)
• Etapa XYZ para el cabezal de exploración AFSEM + adaptador específico para SEM y alimentación a través de la brida
• Controlador, amplificador de alto voltaje, computadora (todo en una caja de rack) + Software