Descripción
M-2000
The M-2000® line of spectroscopic ellipsometers is engineered to meet the diverse demands of thin film characterization. An advanced optical design, wide spectral range, and fast data acquisition combine in an extremely powerful and versatile tool. The M-2000 delivers both speed and accuracy. Our patented RCE technology combines Rotating Compensator Ellipsometry with high-speed CCD detection to collect the entire spectrum (hundreds of wavelengths) in a fraction of a second with a wide array of configurations. The M-2000 is the first ellipsometer to truly excel at everything from in-situ monitoring and process control to large-area uniformity mapping and general purpose thin film characterization. No other ellipsometer technology acquires a full spectrum faster.
Aplicaciones
Recubrimientos ópticos: caracterizan tanto el espesor como el índice de refracción para recubrimientos de una o varias capas; Revestimientos antirreflejos, de alta reflexión o decorativos. Calcule las coordenadas de color para su pila de revestimiento bajo diferentes condiciones de iluminación.
Química / biología: El M-2000 se puede usar para una variedad de aplicaciones químicas y biológicas, ya sea como una herramienta independiente o en combinación con uno de nuestros muchos accesorios. Estudie los materiales a temperatura ambiente líquida, a temperaturas altas o bajas, o junto con mediciones de QCM-D.
Organicos Conductivo: Se ha logrado un gran progreso en el área de capas orgánicas y pilas utilizadas para aplicaciones de visualización (OLED) o fotovoltaicas. Se están estudiando muchos materiales diferentes, desde moléculas pequeñas como el Alq3 hasta polímeros conjugados como el P3HT. A menudo, los materiales múltiples se mezclan entre sí, lo que requiere el amplio rango espectral del M-2000, para probar diferentes longitudes de onda en las que los elementos orgánicos son ópticamente diferentes. Las moléculas de cadena larga también pueden tener una anisotropía significativa, donde el apilamiento orientativo de las cadenas de polímero produce diferentes constantes ópticas en diferentes direcciones.
Semiconductores: las aplicaciones tradicionales de elipsometría siguen siendo fuertes. Caracterice cualquier material semiconductor: resistencias, fotomáscaras, pilas de SiON, ONO, dieléctricos de bajo k, compuertas de alto k, SOI, SiGe, II-VI y III-V compuestos ternarios y cuaternarios.
Fotovoltaica: el espesor de la película y las propiedades ópticas son fundamentales para el rendimiento de los dispositivos solares. La elipsometría se utiliza para el desarrollo y monitoreo de todos los materiales PV: a-Si, μc-Si, poli-Si, recubrimientos AR (SiNx, AlNx …), películas de TCO (ITO, ZnOx, SnO2 dopado, AZO), CdS, CdTe, CIGS, materiales fotovoltaicos orgánicos y películas sensibilizadas con colorante.
In-Situ: El M-2000 es ideal para el monitoreo y control de procesos in situ. Se utiliza con éxito con una serie de procesos diferentes para proporcionar resultados en tiempo real
