Descripción
Scienta omicron
Análisis químico con resolución definitiva
Scienta Omicron NanoSAM Lab
Scienta Omicron NanoSAM Lab
NanoSAM Lab
Análisis químico con resolución definitiva
Columna electrónica de UHV Gemini :
- resolución espacial más alta
- tamaño de punto de haz de electrones más pequeño
- rendimiento único de baja energía
- SEM eficiente con SED en la lente
Analizador de electrones NanoSAM:
- resolución de energía variable
- Excelente sensibilidad, detección multicanal.
Manejo de muestras:
- tamaño de muestra flexible
- temperatura variable de la muestra (50-500K)
- inclinación de la muestra ± 60 °
Resolución definitiva
El laboratorio NanoSAM es la herramienta definitiva para el análisis de estructuras pequeñas. Impulsado por el rendimiento único de la columna electrónica UHV Gemini, garantiza una resolución inigualable por debajo de 5 nm en Scanning Auger Microscopy (SAM) y mejor que 3 nm en SEM.
A diferencia de otras herramientas de Auger, la resolución extremadamente buena no solo está disponible con una energía de haz estándar de 20 keV, sino que incluso a 5 keV la resolución SAM permanece por debajo de 10 nm. Esto permite la operación en un rango de parámetros donde las secciones transversales de Auger son altas y están bien documentadas para el análisis cuantitativo.
Análisis complementario
El laboratorio NanoSAM está diseñado para la adquisición rápida y eficiente de datos en muestras de rutina, al tiempo que mantiene la flexibilidad para operar en rangos de parámetros atípicos en materiales difíciles. Además, NanoSAM Lab puede ampliarse con técnicas adicionales para un análisis complementario de las características clave de la muestra, por ejemplo, la estructura cristalina (EBSD) o la estructura del dominio magnético (SEMPA). Otras características del laboratorio NanoSAM: perfilado de profundidad y neutralización de carga, FIB, EBL.
Detalles
Las mediciones de gran aumento de la barrena hacen que la estabilidad mecánica de la etapa de muestra sea muy exigente. Impulsado por la experiencia SPM de Omicron, la nueva etapa NanoSAM representa una plataforma extremadamente estable y de baja deriva con una nueva tecnología de unidad UHV no magnética y rotación eucéntrica de Zalar mediante una secuencia de apilamiento única de motores Z-φ-XY.
Más allá de esto, los tiempos de medición de Auger pueden exceder fácilmente varios minutos, en el caso de mapas elementales incluso horas. Por lo tanto, una corrección electrónica de la deriva técnicamente madura es indispensable para acceder a un nivel de rendimiento adecuado en estructuras pequeñas o en concentraciones elementales muy bajas. Basado en el enfoque convencional que emplea la correlación de imágenes de imágenes SEM secuenciales y la corrección de haz de electrones por pasos, la nueva Corrección dinámica de deriva incorpora un vector de deriva continua.
Esta combinación proporciona un seguimiento casi continuo del haz de electrones con valores de deriva sobresalientes por debajo de 10 nm por 12 horas.
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